特許
J-GLOBAL ID：201103037343729655
マイクロミラーの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
角田 芳末
, 磯山 弘信
, 松隈 秀盛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248934
公開番号（公開出願番号）：特開2001-075029
特許番号：特許第4366778号
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に、側面が該基板側に向かって内径が徐々に小さくなるテーパ状とされた開口部を有する犠牲層を形成する工程と、
上記犠牲層の上面に対応する位置に、目的とするミラー部の形状に対応するパターンの第1開口を有し、該第1開口の一端に連結され、且つ、先端が互いに向き合う対の略L字型の第2開口が、上記犠牲層に設けられる開口部の上記テーパ状の側面に跨って配置されるマスクを形成する工程と、
上記マスクを介して、反射面の形成面を有するミラー基体を、微粒子堆積法により形成するミラー基体の形成工程と、
該ミラー基体の上記反射面の形成面に、光反射層を形成して反射面を形成する工程と、
上記犠牲層を除去する工程とを有し、
上記マスクの上記第2開口を通じて形成された上記ミラー基体の部分を、上記基板への連結部となるヒンジ部としたミラーを形成する
マイクロミラーの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
