特許

J-GLOBAL ID：201103037423107639

強誘電体薄膜形成用溶液及び強誘電体薄膜形成方法

発明者： 長谷 卓 ,  宮坂 洋一 ,  新内 聡暢 ,  森岡 洋 ,  山手 拓 ,  桂木 速人 ,  森 清人
出願人/特許権者： 日本電気株式会社 ,  関東化学株式会社
代理人 (1件)： 葛和 清司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-361061
公開番号（公開出願番号）：特開2001-180934
特許番号：特許第4030243号
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】強誘電体薄膜を構成する元素の有機金属化合物と第1級アルコール及び/またはプロピレングリコールモノアルキルエーテルより調製される強誘電体薄膜形成用溶液であって、変性シリコーンオイル及びフッ素系界面活性剤からなる群から選択される1種又は2種以上を含有する、前記溶液。

IPC (3件)：

C01G 25/00 ( 200 6.01) ,  C23C 18/12 ( 200 6.01) ,  H01L 27/10 ( 200 6.01)

FI (3件)：

C01G 25/00 ,  C23C 18/12 ,  H01L 27/10 451

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 成膜法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-040115   出願人：セントラル硝子株式会社
• 強誘電体薄膜形成用塗布溶液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-114323   出願人：関東化学株式会社
• 特開平1-203224