特許
J-GLOBAL ID:201103037606167002

レーザ描画装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 松浦 孝 ,  小倉 洋樹 ,  野中 剛 ,  虎山 滋郎 ,  坪内 伸
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-321003
公開番号(公開出願番号):特開2001-142225
特許番号:特許第3975626号
出願日: 1999年11月11日
公開日(公表日): 2001年05月25日
請求項(抜粋):
【請求項1】被描画体をレーザビームにより主走査方向に沿って繰り返し走査させるとともに、前記被描画体を主走査方向と交差する副走査方向に沿って搬送することにより、前記被描画体を主走査方向に沿うラインごとに描画するレーザ描画装置であって、 前記被描画体を固定し、前記被描画体を副走査方向に送り得るとともに、所定の回転中心を中心に前記被描画体を回転し得るテーブルと、 前記被描画体に設けられた複数の位置決めマークの相対位置を検出する検出手段と、 検出された前記位置決めマークの相対位置に基づいて、各ラインについて、主走査方向に対する傾きと主走査方向における基準ライン長さに対する伸縮率とを直線近似して算出する演算手段と、 前記傾きおよび前記伸縮率に基いて、前記被描画体の描画開始位置および回転位置を調整する調整手段と を備えるレーザ描画装置。
IPC (5件):
G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  B23K 26/00 ( 200 6.01) ,  B23K 26/08 ( 200 6.01) ,  G03F 9/00 ( 200 6.01) ,  B23K 101/42 ( 200 6.01)
FI (6件):
G03F 7/20 505 ,  B23K 26/00 M ,  B23K 26/00 H ,  B23K 26/08 F ,  G03F 9/00 Z ,  B23K 101:42
引用特許:
出願人引用 (4件)
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