特許
J-GLOBAL ID：201103037646220909
磁気転写装置のパーティクル監視方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-175234
公開番号（公開出願番号）：特開2001-351233
特許番号：特許第3992906号
出願日： 2000年06月12日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】マスターディスクから磁気信号をスレーブディスクに転写する磁気転写の各工程を行う各構成要素がベース上に配設され、前記ベースを覆う筐体が配設された磁気転写装置の前記筐体内の複数の所要の構成要素の至近位置に吸気口が固定して配設されたパーティクル測定手段によって前記筐体内のパーティクルを測定し、各測定位置のパーティクル数の関係からパーティクルの発生源を特定するとともに、時系列に測定された各測定位置のパーティクル数の変化からパーティクルの発生源である構成要素を推定し、かつ時系列に測定された各測定位置のパーティクル数の平均値と最大値とから前記筐体内のクリーン度を評価することを特徴とする磁気転写装置のパーティクル監視方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G11B 5/86 101 B
, G11B 5/86 C
