特許
J-GLOBAL ID：201103037857662460
光導波路と半導体受光素子との接続構造
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-259671
公開番号（公開出願番号）：特開2002-116333
特許番号：特許第3796105号
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に形成された、クラッド部と該クラッド部中のコア部とを有する光導波路による伝搬光を、前記基板上で前記光導波路の近傍に配置された半導体受光素子に受光させるための光導波路と半導体受光素子との接続構造であって、前記光導波路は前記コア部に金属を前記クラッド部よりも多く含有したシロキサン系ポリマであって、加熱を行なうとさらに重合が進んでより多くのシロキサン結合が生成されて屈折率が小さくなるものから成り、前記光導波路の前記半導体受光素子近傍における前記コア部と前記クラッド部との屈折率差を、前記コア部および前記クラッド部を加熱することにより小さくして、前記コア部から漏れ出させた前記伝搬光を前記半導体受光素子に受光させるようにしたことを特徴とする光導波路と半導体受光素子との接続構造。
IPC (3件)：
G02B 6/122 ( 200 6.01)
, G02B 6/42 ( 200 6.01)
, H01L 31/0232 ( 200 6.01)
G02B 6/12 B
, G02B 6/42
, H01L 31/02 C
