液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド、ヘッドカートリッジおよび液体吐出記録装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：宮崎昭夫 , 金田暢之 , 石橋政幸 , 伊藤克博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-319547
公開番号（公開出願番号）：特開2000-225709
特許番号：特許第3986039号
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】吐出用液体を吐出する吐出口に連通する第1の液流路と、発泡用液体に気泡を発生させる発熱素子を具備した素子基板を有し且つ前記第1の液流路に対応する第2の液流路と、前記第1の液流路および対応する前記第2の液流路とを互いに常に実質的に分離する可動分離膜とを有する液体吐出ヘッドの製造方法において、前記可動分離膜となる有機膜を形成する第1の工程と、第1の工程で形成した有機膜に永久ひずみを与える第2の工程を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：