単結晶引上げ装置の湯漏れ受皿

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：好宮幹夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-563658
特許番号：特許第3741043号
出願日： 2001年02月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】チョクラルスキー法による単結晶引上げ装置のチャンバの底部でルツボの下部に配設した湯漏れ受皿であって、少なくとも該湯漏れ受皿が底部と筒部とから成り、底部と筒部の接合が螺合あるいは立て込みボルトでなされ、前記湯漏れ受皿が、等方性黒鉛製受皿本体と本体内面に張り付けた炭素繊維製成形材の断熱材から構成されていることを特徴とする単結晶引上げ装置の湯漏れ受皿。

IPC (2件)：