特許
J-GLOBAL ID：201103038561196762
エキスパンションシートからのチップ片の剥離装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
石井 暁夫
, 東野 正
, 西 博幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031274
公開番号（公開出願番号）：特開2000-232079
特許番号：特許第3912923号
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 上面に多数個のチップ片を行方向及び列方向に並べて貼着して成るエキスパンションシートを載せて水平に回転する回転テーブルと,その上方に配設したヘッド部材と,前記回転テーブル及びヘッド部材を前記回転テーブルの上面を含む平面上において前記行方向と列方向との二つの方向に相対的に往復動するための手段とを備え,前記ヘッド部材に,楔型のスクレーパ体を,前記回転テーブルの上面に向かって斜め下向きの傾斜角度で前後動するように設けて成り,前記楔型のスクレーパ体として,その幅寸法の異なる複数個のスクレーパ体を使用して,この各スクレーパ体を,その各々を独立して別々に前後動するように構成したことを特徴とするエキスパンションシートからのチップ片の剥離装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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