特許
J-GLOBAL ID：201103038594748639

光学素子の検査装置および光学素子の検査方法

発明者：
北林 雅志

北林 雅志 について

, 
▲高▼戸 雄二

▲高▼戸 雄二 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 木下 實三 ,  中山 寛二 ,  石崎 剛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-285783
公開番号（公開出願番号）：特開2003-090781
特許番号：特許第3931605号
出願日： 2001年09月19日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 入射光束の光軸と直交する方向から見て、入射角45度となるようにX字状に配置される4つの反射面を有し、X字の一方の延出方向に沿った一組の反射面が、他の一組の反射面と異なる波長域の光束を反射するように構成された光学素子の各反射面の相対位置を検査する光学素子の検査装置であって、 検査対象となる光学素子を設置する台座と、 前記4つの反射面のいずれかに対して、入射角45度で測定光を導入する測定光導入部と、 この測定光導入部から前記光学素子に導入された測定光の戻り光を検出する戻り光検出部と、 前記測定光の導入方向から見て、一組の反射面および他の一組の反射面の交線で区画される2つの領域のいずれか一方の領域にのみ前記測定光を導入する測定光切替部と、 前記一組の反射面および他の一組の反射面の交線を撮像する交線撮像部と、 この交線撮像部で検出された信号に基づいて、該交線の幅および傾斜から各反射面の接合状態を判定する接合状態判定部とを備えることを特徴とする光学素子の検査装置。
IPC (3件)：
G01M 11/00 ( 200 6.01) ,  G02B 5/04 ( 200 6.01) ,  G02F 1/1335 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G01M 11/00 T ,  G01M 11/00 M ,  G02B 5/04 B ,  G02F 1/133 7
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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