基板固定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：荒船博司 , 荒船良男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-303467
公開番号（公開出願番号）：特開2003-110294
特許番号：特許第4689116号
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板の下面側に配設され、基板に対して上下動するバックアッププレートと、前記バックアッププレートの上面に配設される第一の固定手段と、基板の上面側に配設される第二の固定手段とを備え、前記バックアッププレートの上昇により前記第一の固定手段と前記第二の固定手段とで基板を上下両側から固定する基板固定装置であって、前記バックアッププレートの下面側において上下動する駆動板と、前記駆動板と前記バックアッププレートとの間に介在する複数の弾性部材とを備え、前記バックアッププレートが略矩形状に形成され、前記弾性部材が前記バックアッププレートの四隅に配設されることを特徴とする基板固定装置。

IPC (1件)：