特許
J-GLOBAL ID：201103038898847900

フォトレジスト剥離剤組成物

発明者：
丸山 岳人

丸山 岳人 について

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南場 哲

南場 哲 について

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阿部 久起

阿部 久起 について

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青山 哲男

青山 哲男 について


出願人/特許権者：
三菱瓦斯化学株式会社

三菱瓦斯化学株式会社 について


代理人 (1件)： 永井 隆
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-190128
公開番号（公開出願番号）：特開2003-005384
特許番号：特許第4582278号
出願日： 2001年06月22日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】透明導電膜のドライエッチング時に発生するフォトレジスト残渣を剥離するのに使用する、脂肪族ポリカルボン酸とアニオン性界面活性剤およびリン酸系キレ-ト剤を含有する水溶液からなるフォトレジスト剥離剤組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/42 ( 200 6.01) ,  C09D 9/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  H01L 21/308 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G03F 7/42 ,  C09D 9/00 ,  H01L 21/30 572 B ,  H01L 21/308 G
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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