特許
J-GLOBAL ID：201103039479901225
砥液供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
渡邉 勇
, 堀田 信太郎
, 大畑 進
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-243147
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068439
特許番号：特許第3763707号
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 砥液原液を収容する可搬容器を内部に設置可能な原液供給部と、
該原液供給部の前記可搬容器から供給される砥液原液に希釈調整液を供給して所定濃度の砥液とする砥液調整部とを有し、
前記原液供給部には、前記可搬容器内の砥液原液を攪拌する昇降可能な攪拌翼と、前記可搬容器の設置部の前方を開閉自在に覆う扉と、この扉の開閉状態を検知するセンサとが設けられ、前記扉が開放状態である時に前記攪拌翼の昇降及び/又は回転を行わないようにしたことを特徴とする砥液供給装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B24B 57/02 ( 200 6.01)
H01L 21/304 622 E
, B24B 57/02
