アクティブ除振装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉岡宏嗣
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-199751
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027280
特許番号：特許第3726207号
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】機器が搭載された基板に水平方向の力を加える水平方向用アクチュエータと、前記基板に上下方向の力を加える上下方向用アクチュエータと、前記基板の振動を検出する振動センサと、該振動センサの出力を入力として前記水平方向用及び上下方向用アクチュエータの動作を制御する除振用コントローラと、を含んで構成されて前記機器の振動を抑制するアクティブ除振装置において、前記機器の振動を検出する振動センサを設け、前記除振用コントローラは、前記基板の振動を検出する振動センサの出力と前記機器の振動を検出する振動センサの出力を入力として前記水平方向用アクチュエータの動作を制御するように構成されていることを特徴とするアクティブ除振装置。

IPC (4件)：