プラズマ発生装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小笠原史朗
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-140779
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331796
特許番号：特許第3644624号
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被処理物が収納された真空槽内にマイクロ波を利用してプラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、マイクロ波発生装置と、前記マイクロ発生装置から発生されるマイクロ波を真空槽内に導入するためのマイクロ波導入窓と、前記真空槽内において、前記マイクロ波導入窓付近に所定のガスを供給するガス供給手段と、マイクロ波透過性の織物と、前記織物が前記マイクロ波導入窓の真空槽側の面と密着しながら摺動するように、当該織物を搬送させる織物搬送装置とを備える、プラズマ発生装置。

IPC (3件)：