特許

J-GLOBAL ID：201103040018747370

高純度コバルトターゲットと銅合金製バッキングプレートとの拡散接合ターゲット組立体及びその製造方法

発明者： 高橋 一成 ,  宮下 博仁
出願人/特許権者： 日鉱金属株式会社
代理人 (2件)： 小越 勇 ,  木下 洋平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-302134
公開番号（公開出願番号）：特開2002-105635
特許番号：特許第3905295号
出願日： 2000年10月02日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 厚さ0.8mm以上のアルミニウムあるいはアルミニウム合金板をインサート材として拡散接合したことを特徴とする高純度コバルトターゲットと銅合金バッキングプレートとの拡散接合ターゲット組立体。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ( 200 6.01) ,  B23K 20/00 ( 200 6.01) ,  B23K 20/16 ( 200 6.01)

FI (4件)：

C23C 14/34 C ,  B23K 20/00 310 L ,  B23K 20/00 310 M ,  B23K 20/16

引用特許：

審査官引用 (3件)

• スパッタリングタ-ゲット用バッキングプレ-ト及びスパッタリングタ-ゲット/バッキングプレ-ト組立体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-054222   出願人：株式会社ジャパンエナジー
• 特開昭62-202732
  
• 固相拡散接合されたスパッタリングターゲット組立体の分離方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-036334   出願人：ソニー株式会社