両面研磨装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：綿貫隆夫 , 堀米和春
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-072528
公開番号（公開出願番号）：特開2002-273652
特許番号：特許第4620884号
出願日： 2001年03月14日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】定盤受上に載置された下定盤と、この下定盤と対向して配置された上定盤との間にワークを挟み、上定盤からワークに荷重をかけつつ下定盤および上定盤を所要方向に回転させることでワークの両面を研磨する両面研磨装置において、前記定盤受に定盤受を冷却する冷却機構を設け、前記定盤受の上面と下定盤の下面との間に、該定盤受の上面と下定盤の下面の凹凸を吸収する厚さと柔軟性を有するとともに、前記下定盤からの熱を前記定盤受に伝達して下定盤を冷却すべく熱伝導性の良好な、樹脂製もしくはゴム製のシート部材を介在させたことを特徴とする両面研磨装置。

IPC (2件)：