傾斜検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好祥二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-094003
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286448
特許番号：特許第4653898号
出願日： 2001年03月28日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】自由液面を形成する液体部材と、構造部材に固定された固定反射部材と、直線偏光を前記液体部材に投光する自由液面投光系と、該自由液面投光系と同位相の直線偏光を前記固定反射部材に投光する固定反射部材投光系と、前記液体部材への入射、反射の共通光路に設けられたλ/4位相差板と、前記固定反射部材への入射、反射の共通光路に設けられたλ/4位相差板と、前記液体部材の自由液面からの反射光と前記固定反射部材からの反射光のみを透過し受光素子に導く偏光光学部材を有する受光光学系と、前記受光素子が受光した2つの反射像の偏差から装置自体の傾きを演算する演算処理部を具備することを特徴とする傾斜検出装置。

IPC (3件)：