特許
J-GLOBAL ID：201103040238611674
基板の厚さを測定するためのオンライン測定装置及びその測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
, 白根 俊郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-375371
公開番号（公開出願番号）：特開2002-228422
特許番号：特許第3946507号
出願日： 2001年12月10日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】移送中の基板の厚さを測定するためのオンライン測定装置であって、
前記基板の下部面の高さの変化を検出する第1画像検出器と、
2つの向合うエッジを有する前記下部面の画像を撮像する第2画像検出器と、
前記第2画像検出器を前記下部面に対して直角方向に動かす昇降手段であって、前記昇降手段は前記下部面の高さの変化によって制御され、前記下部面と前記第2画像検出器との間の垂直距離を一定に維持する前記昇降手段と、
前記下部面の画像を処理して前記下部面の前記2つの向合うエッジ間の距離を計算することにより、前記基板の厚さを求める制御部とを含むことを特徴とするオンライン測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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