特許
J-GLOBAL ID:201103040575743795
プローブカード
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松永 宣行
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-157579
公開番号(公開出願番号):特開2000-346874
特許番号:特許第4641572号
出願日: 1999年06月04日
公開日(公表日): 2000年12月15日
請求項(抜粋):
【請求項1】 電気絶縁性を有する基板と、該基板に交互にかつ並列的に配置された複数の第1及び第2のプローブとを含み、
前記第1及び第2のプローブは、針主体部と、該針主体部の先端から一方側に曲げられた針先部とを含み、
前記第1のプローブの針主体部は、前記一方側ほど狭くなるV字状の部位を有する扇形、三角形、菱形及び四角形から選択される断面形状を有する領域を少なくとも中央から後方の箇所に有し、
前記第2のプローブの針主体部は、前記一方側と反対の側ほど狭くなるV字状の部位を有する扇形、三角形、菱形及び四角形から選択される断面形状を有する領域を少なくとも中央から後方の箇所に有する、プローブカード。
IPC (2件):
G01R 1/073 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
引用特許:
出願人引用 (3件)
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プローブカード
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-256186
出願人:株式会社日本マイクロニクス
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電気回路検査方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-357400
出願人:株式会社日本マイクロニクス
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プローブカード
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-120320
出願人:株式会社日立製作所
審査官引用 (3件)
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プローブカード
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-256186
出願人:株式会社日本マイクロニクス
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電気回路検査方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-357400
出願人:株式会社日本マイクロニクス
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プローブカード
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-120320
出願人:株式会社日立製作所
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