感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いたパターン形成方法及び該組成物に用いられる樹脂の精製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：高松猛 , 矢澤清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-221639
公開番号（公開出願番号）：特開2011-070033
出願日： 2009年09月25日
公開日（公表日）： 2011年04月07日
要約：

【課題】高感度、高解像性、良好なパターン形状及び良好なラインエッジラフネスを同時に満足させる、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いたパターン形成方法及び該組成物に用いられる樹脂の精製方法を提供する。【解決手段】活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する構造部位(X)を有する繰り返し単位(A)を有する樹脂(P)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、前記組成物中の、前記樹脂(P)中に含まれる繰り返し単位(A)を構成する単量体(a)の存在量が、前記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物の質量に対して0.05質量%以下であることを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いたパターン形成方法及び該組成物に用いられる樹脂の精製方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する構造部位(X)を有する繰り返し単位(A)を有する樹脂(P)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、前記組成物中の、前記樹脂(P)中に含まれる繰り返し単位(A)を構成する単量体(a)の存在量が、前記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物の質量に対して0.05質量%以下であることを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 , C08F 212/14 , G03F 7/039 , C08F 220/38 , C08F 6/06 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F7/004 503A , C08F212/14 , G03F7/039 601 , C08F220/38 , C08F6/06 , H01L21/30 502R

Fターム (73件)：

2H125AF15P , 2H125AF17P , 2H125AF27P , 2H125AF34P , 2H125AF36P , 2H125AF52P , 2H125AF70P , 2H125AH05 , 2H125AH14 , 2H125AH15 , 2H125AH19 , 2H125AH22 , 2H125AH23 , 2H125AH24 , 2H125AH29 , 2H125AJ04X , 2H125AJ08X , 2H125AJ14X , 2H125AJ14Y , 2H125AJ48X , 2H125AJ48Y , 2H125AJ65X , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN57P , 2H125AN63P , 2H125AN67P , 2H125BA01P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125BA32P , 2H125BA33P , 2H125CA12 , 2H125CB12 , 2H125CB16 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 4J100AB07P , 4J100AB07Q , 4J100AB07R , 4J100AB07S , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100BA02Q , 4J100BA02S , 4J100BA03P , 4J100BA10S , 4J100BA11Q , 4J100BA11R , 4J100BA15Q , 4J100BA46R , 4J100BA56R , 4J100BA56S , 4J100BB07S , 4J100BB18R , 4J100BC03Q , 4J100BC04Q , 4J100BC09P , 4J100BC43S , 4J100BC49R , 4J100BC52Q , 4J100BC52R , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100DA04 , 4J100DA30 , 4J100DA38 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100GC10 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (2件)

感放射線性樹脂組成物及びそれに用いられる重合体
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-167220 出願人：JSR株式会社
ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-045779 出願人：富士写真フイルム株式会社

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