特許
J-GLOBAL ID：201103040933763744
高周波測定装置、および、高周波測定装置の校正方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
吉田 稔
, 田中 達也
, 仙波 司
, 鈴木 泰光
, 臼井 尚
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-067843
公開番号（公開出願番号）：特開2011-202973
出願日： 2010年03月24日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：
【課題】チャンバー内の高周波パラメータを精度よく測定できるように高周波測定装置を校正する方法を提供する。【解決手段】第1の3つの基準負荷の高周波測定装置による測定インピーダンスと真値から校正パラメータXを算出し(S1,2)、高周波測定装置の接続点とプラズマ処理装置のチャンバー内との間で測定されたSパラメータから校正パラメータX'を算出し(S3,4)、校正パラメータX,X'を用いて校正した電圧信号と電流信号からチャンバー内のインピーダンスを算出し(S5)、S5で算出されたインピーダンスを含み、第1の3つの基準負荷より狭い範囲を囲むことになる第2の3つの基準負荷を決定し(S6)、第2の3つの基準負荷の高周波測定装置による測定インピーダンスと真値から校正パラメータX”を算出し(S7,8)、検出された電圧信号と電流信号とを校正パラメータX,X’,X”を用いて校正する(S9)。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
チャンバー内でプラズマを発生させるプラズマ処理装置と当該プラズマ処理装置に高周波電力を供給する高周波電源装置との間に接続されて、当該接続点における高周波電圧および高周波電流を検出し、検出された電圧値と電流値とに基づいて、前記プラズマ処理装置のチャンバー内のインピーダンスを算出する高周波測定装置の前記電圧値と電流値の校正方法であって、
第1の3つの基準負荷に前記高周波測定装置を接続した時に算出されたインピーダンスと前記第1の3つの基準負荷のインピーダンスとに基づいて、前記電圧値と電流値とを校正するための第1のパラメータを算出して、前記高周波測定装置に設定する第1の行程と、
前記検出された電圧値と電流値とをそれぞれ前記チャンバー内の電圧値と電流値とに変換するための第2のパラメータを算出して、前記高周波測定装置に設定する第2の行程と、
前記高周波測定装置を測定対象のプラズマ処理装置に接続してプラズマ処理を行い、検出された電圧値と電流値とを前記第1のパラメータおよび第2のパラメータを用いて校正し、当該校正後の電圧値と電流値とに基づいて、前記チャンバー内のインピーダンスを算出する第3の行程と、
スミスチャート上で表示した場合に、前記第3の行程で算出されたインピーダンスを含み、かつ、前記第1の3つの基準負荷のインピーダンスによって囲まれる範囲より狭い範囲を囲むことになる3つのインピーダンスを決定する第4の行程と、
前記3つのインピーダンスをそれぞれ有する第2の3つの基準負荷をそれぞれ前記測定対象のプラズマ処理装置のチャンバー内に配置したときに当該プラズマ処理装置に接続された前記高周波測定装置が測定したインピーダンスと前記第2の3つの基準負荷のインピーダンスとに基づいて、前記第1のパラメータおよび第2のパラメータを用いて校正された電圧値と電流値とをさらに校正するための第3のパラメータを算出して、前記高周波測定装置に設定する第5の行程と、
前記高周波測定装置を前記測定対象のプラズマ処理装置に接続して、検出された電圧値と電流値とを前記第1のパラメータ、第2のパラメータ、および第3のパラメータを用いて校正する第6の行程と、
を備えている校正方法。
IPC (4件)：
G01R 27/02
, G01R 35/00
, H05H 1/46
, H05H 1/00
G01R27/02 A
, G01R35/00 E
, G01R35/00 J
, H05H1/46 R
, H05H1/00 A
2G028AA01
, 2G028BE10
, 2G028CG08
, 2G028CG15
, 2G028CG18
, 2G028CG26
, 2G028DH01
, 2G028FK07
, 2G028FK09
, 2G028MS02
, 5F004AA16
, 5F004BA04
, 5F004BD04
