特許
J-GLOBAL ID：200903015934528177
インピーダンス整合器の出力端特性解析方法、およびインピーダンス整合器、ならびにインピーダンス整合器の出力端特性解析システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-158980
公開番号（公開出願番号）：特開2003-302431
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：
【要約】【課題】 製造コストが安価でしかも出力端の電気的特性を高精度に解析できるインピーダンス整合器を提供する。【解決手段】 入力端1aに接続される高周波電源からの高周波電力に関する情報を検出する入力側検出器2と、その検出情報に基づいて可変キャパシタVC3,VC4を調整することにより高周波電源と出力端1bに接続される負荷とのインピーダンスを整合させる制御部3と、予め測定された可変キャパシタVC3,VC4の可変値に対する出力インピーダンスZo(出力端の電気的特性)の関係を示す特性を記憶するEEEROM15と、制御部3により可変キャパシタVC3,VC4が高周波電源と負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、その調整値とEEEROM15に記憶された特性とに基づいて出力端1bにおける出力インピーダンスZoなどの電気的特性を解析する解析部とを備えた。
請求項（抜粋）：
入力端と出力端との間に少なくとも1の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器の前記出力端における電気的特性を解析するインピーダンス整合器の出力端特性解析方法であって、前記インピーダンス整合器の入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを予め取得しておき、前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出し、この検出情報に基づいて前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、そのリアクタンス値と予め取得された前記データとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析することを特徴とする、インピーダンス整合器の出力端特性解析方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2G028AA01
, 2G028BB10
, 2G028CG06
, 2G028CG08
出願人引用 (10件)
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特開平4-168371
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特開平4-253411
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特開平4-368799
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審査官引用 (10件)
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