ポジ型ホトレジスト組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：棚井澄雄 , 志賀正武 , 青山正和 , 鈴木三義 , 柳井則子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-276690
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090992
特許番号：特許第3901923号
出願日： 2000年09月12日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】(A)アルカリ可溶性樹脂、および(B)感光性成分を含有してなるポジ型ホトレジスト組成物において、該(B)成分は、下記一般式(I)で表される化合物と1,2-ナフトキノンジアジドスルホニル化合物とのエステル化物を含有することを特徴とするポジ型ホトレジスト組成物。

IPC (3件)：