特許
J-GLOBAL ID：201103042622253532
形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224430
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050740
特許番号：特許第3488842号
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】変位計を搭載したキャリッジと、変位計を被測定面の起伏に追従させるべく前記キャリッジを往復移動させる駆動機構と、前記キャリッジの位置を検出して位置信号を発生させる位置検出部と、前記変位計の出力信号もしくは前記位置信号に基づいて、前記キャリッジの位置制御のための操作量を算出する位置制御コントローラと、前記位置信号から算出した速度信号に基づいて、前記キャリッジの速度制御のための操作量を算出する速度制御コントローラと、前記位置制御コントローラもしくは前記速度制御コントローラからの操作量に応じて前記駆動機構を駆動する駆動回路とを備えた形状測定装置において、前記キャリッジの現在位置を使用して目標速度を演算し、当該目標速度を使用して速度制御を行うように構成し、前記キャリッジの加速時の目標速度を移動開始位置から所定距離までの間は所定の目標速度の値とし、目標位置が前記所定距離よりも手前の場合、前記キャリッジの現在位置を使用して算出した目標速度もしくは前記目標速度テーブルから選択した目標速度に従って減速することを特徴とする形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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