特許
J-GLOBAL ID：201103042909614226
波長走査型レーザ光源
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 宜喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-243633
公開番号（公開出願番号）：特開2011-091209
出願日： 2009年10月22日
公開日（公表日）： 2011年05月06日
要約：
【課題】単色光を発生してその発振波長を高速で走査することができる波長可変型レーザ光源を実現できること。【解決手段】半導体レーザ11、MEMSミラー13、回折格子15を設け、MEMSミラーを高速で偏向させて回折格子への入射角を変化させる。MEMSミラー13と回折格子15との間隔を適宜設定することによって、外部共振器長の変化と、選択波長の変化とを同期させる。こうすれば高速でMEMSミラー13を駆動し、狭線幅を保ちながら波長を高速に走査することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
発振する波長に対する利得を有するゲイン媒体と、
前記ゲイン媒体を含む外部共振器の一端を構成する反射部と、
前記ゲイン媒体からの光ビームを偏向するMEMSミラーと、
前記MEMSミラーに交流電圧及び交番電圧のいずれかを印加することによって光ビームを偏向させる駆動部と、
前記MEMSミラーからの光を同一行路でゲイン媒体の側に回折して戻す回折格子と、を具備し、
前記外部共振器長は数10cm以上、10m以下とし、
前記MEMSミラーは、
支持基板と、
前記支持基板上に設けられたスペーサと、
前記スペーサを介して前記支持基板に固定された一対の第1の支持部と、
前記一対の第1の支持部に対し夫々回動可能とするように、前記第1の支持部に第1の弾性連結部を介して連結され、可動側櫛歯状電極を有する一対の第1の質量部と、
前記第1の質量部に対し回動可能とするように、前記第1の質量部に第2の弾性連結部を介して連結され、その表面をミラー面とする第2の質量部と、
前記スペーサを介して前記支持基板に固定された第2の支持部と、
前記スペーサを介さずに前記支持基板に固着されている固着部と、
前記固着部に一体形成または接続され、第1の質量部の前記可動側櫛歯状電極に間隔を隔てて噛み合う少なくとも一対の固定側櫛歯状電極と、
前記固着部を前記第2の支持部に直接的または間接的に接続する接続部とを具備し、
前記固着部は、前記接続部を撓ませながら前記第2の支持部に対し前記支持基板側に変位した状態で前記支持基板に固着し、これにより、前記固定側櫛歯状電極を前記可動側櫛歯状電極に対し前記支持基板の板厚方向でずれるように初期変位させたものであり、
駆動部は、前記MEMSミラーの前記可動側櫛歯状電極と前記固定側櫛歯状電極との間に電圧を印加することによって、前記第1の質量部を回動させ、これに伴い前記第2の質量部を回動させるものであり、
前記回折格子への入射角によって決まる外部共振器モードの波長変化と前記回折格子により選択される回折波長の波長変化とが同期し、外部共振器モードの少なくとも60%が波長変化に応じてそのまま移動するようにした波長走査型レーザ光源。
IPC (3件)：
H01S 5/14
, G02B 26/08
, B81B 3/00
H01S5/14
, G02B26/08 E
, B81B3/00
2H141MA12
, 2H141MB24
, 2H141MC07
, 2H141MD12
, 2H141MD20
, 2H141MD23
, 2H141MD24
, 2H141MD40
, 2H141ME04
, 2H141ME06
, 2H141ME13
, 2H141ME23
, 2H141ME25
, 2H141MF01
, 2H141MF10
, 2H141MF22
, 2H141MF28
, 2H141MG10
, 2H141MZ06
, 2H141MZ16
, 2H141MZ24
, 3C081BA07
, 3C081BA44
, 3C081BA46
, 3C081BA47
, 3C081BA53
, 3C081EA08
, 5F173AB34
, 5F173AB47
, 5F173AR06
