特許
J-GLOBAL ID:201103043263714061

欠陥検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三好 秀和
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-014772
公開番号(公開出願番号):特開2000-214103
特許番号:特許第4028654号
出願日: 1999年01月22日
公開日(公表日): 2000年08月04日
請求項(抜粋):
【請求項1】 カラーで文字が印刷され、かつタイミングマーカが形成された検査対象物を撮像したとき、前記タイミングマーカの検出に伴って前記検査対象物のR、G、B画像信号をRGB画像入力手段が入力し、これらの画像信号がホワイトバランスパラメータで調整された前記R、G、B画像信号を色変換部が入力して色変換して表示部に表示する欠陥検査装置であって、 前記検査対象物を搬送する搬送手段と、 この前記搬送手段に隣接して配置され、表面が分割されて白領域並びに黒領域が設けられた基準部材と、 前記検査対象物並びに前記基準部材を撮像し、赤、緑、青画像を撮像する3種のラインセンサを有するカメラと、 このカメラからの前記画像信号から前記基準部材の前記白領域の赤、緑、青のそれぞれの第1の画像信号及び前記黒領域の赤、緑、青のそれぞれの第2の画像信号のみを抽出する基準板画像入力部と、 前記第1の画像信号の前記白領域の輝度の平均レベル及び前記第2の画像信号の前記黒領域の輝度の平均レベル並びに目標レベルに基づいて前記赤、緑、青のホワイトバランスパラメータを算出するホワイトバランスパラメータ算出処理部と、 前記RGB画像入力手段からの前記検査対象物の画像信号を、前記ホワイトバランスパラメータに基づいて濃度変換した出力信号を前記色変換部に送出するRGB濃度変換部と を具備することを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (3件):
G01N 21/892 ( 200 6.01) ,  G01J 3/50 ( 200 6.01) ,  G01N 21/88 ( 200 6.01)
FI (3件):
G01N 21/892 Z ,  G01J 3/50 ,  G01N 21/88 J
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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