特許
J-GLOBAL ID：201103043992550990

超音波励振装置及びこれを備えた超音波洗浄装置

発明者：
鈴木 洋信

鈴木 洋信 について

, 
岡野 勝一

岡野 勝一 について


出願人/特許権者：
株式会社カイジョー

株式会社カイジョー について


代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-086022
公開番号（公開出願番号）：特開2000-279887
特許番号：特許第3809293号
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】200kHz以上の超音波振動を発生する振動子と、 前記振動子と結合して前記超音波振動を外部負荷に導く導波体と、 前記導波体を冷却する冷却手段とを有する超音波励振装置であって、 前記冷却手段は、前記導波体の内部に形成されて冷却用流体が流入する空洞部を有し、 前記空洞部は、前記超音波振動の進行方向における寸法が前記冷却用流体の音速度に基づく前記超音波振動の半波長の整数倍であり、かつ、 前記導波体の前記振動子を有する上面から前記空洞部の上端部までの大きさ及び前記空洞部の下端部から前記導波体の前記上面と対向する底面までの大きさが前記導波体の素材の音速度に基づく前記超音波振動の半波長の整数倍であること を特徴とする超音波励振装置。
IPC (4件)：
B06B 1/06 ( 200 6.01) ,  B06B 3/00 ( 200 6.01) ,  B08B 3/12 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (4件)：
B06B 1/06 Z ,  B06B 3/00 ,  B08B 3/12 B ,  H01L 21/304 642 E
引用特許：
出願人引用 (4件)
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