超音波ワイヤボンダ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：松本洋一 , 山本浩
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-007611
公開番号（公開出願番号）：特開2002-217229
特許番号：特許第4344977号
出願日： 2001年01月16日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ボンディングワイヤを金属膜に圧接するボンディングツールと、該ボンディングツールに超音波振動を伝達する超音波ホーンと、該超音波ホーンに超音波振動を伝達する超音波振動発生器とを備え、前記ボンディングワイヤと前記金属膜を超音波振動で溶着する超音波ワイヤボンダにおいて、ボンディングツールと隣接して固定され、前記ボンディングワイヤの自由端側を固定する引き込み防止ツールと、前記ボンディングツールに対して相対的に移動するテーブルとを備え、前記ボンディングワイヤの自由端側を、前記引き込み防止ツールで前記テーブル側へ押さえて固定することを特徴とする超音波ワイヤボンダ。

IPC (1件)：