特許
J-GLOBAL ID：201103044290052409

III族窒化物結晶成長装置

発明者：
皿山 正二

皿山 正二 について

, 
山根 久典

山根 久典 について

, 
島田 昌彦

島田 昌彦 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-195954
公開番号（公開出願番号）：特開2003-012400
特許番号：特許第4640899号
出願日： 2001年06月28日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 反応容器と、該反応容器内に配置され、III族原料とアルカリ金属とを含む混合融液を保持する混合融液保持容器と、 少なくとも窒素を含む物質を前記反応容器に供給する供給手段と、 前記反応容器の外部から前記混合融液保持容器にIII族原料を補給する補給手段と、 を備える結晶製造装置であって、 前記補給手段は、前記III族原料を保持するIII族原料保持容器と、前記III族原料を融点以上に加熱する加熱手段と、前記混合融液保持容器と前記III族原料保持容器との間に設置されたIII族原料を送液するポンプと、前記混合融液保持容器と前記ポンプ、前記ポンプと前記III族原料保持容器をそれぞれ連結する供給管とを備えており、 前記ポンプは、モーターの回転運動をロッドの直進運動に変換し、直進運動する前記ロッドによって前記III族原料を送液する構成を成し、前記モーターの回転速度を調整することで送液速度が制御可能であり、 前記ポンプ内には、前記混合融液保持容器から前記ポンプへの前記III族原料の逆流を防ぐための逆止弁が備えられており、 前記逆止弁は、ボールで流路を塞ぐことにより逆流を防止する構造をなし、 前記ボールは前記III族原料の密度よりも大きいステンレスからなることを特徴とするIII族窒化物結晶製造装置。
IPC (4件)：
C30B 29/38 ( 200 6.01) ,  C30B 9/10 ( 200 6.01) ,  H01L 21/208 ( 200 6.01) ,  H01S 5/323 ( 200 6.01)
FI (4件)：
C30B 29/38 D ,  C30B 9/10 ,  H01L 21/208 Z ,  H01S 5/323 610
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM