特許
J-GLOBAL ID：201103044544089391

レーザ露光装置

発明者：
古川 弘司

古川 弘司 について

, 
大石 近司

大石 近司 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-232746
公開番号（公開出願番号）：特開2001-056569
特許番号：特許第3890429号
出願日： 1999年08月19日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 レーザ光を射出するレーザ光源と集光レンズとを備えてなり、前記レーザ光源から射出された前記レーザ光を前記集光レンズによって集光させて感光材料を露光するレーザ露光装置において、 前記レーザ光の光路に影響を与えることなく露光面に対して前記集光レンズを覆うことが可能な遮蔽部材が、前記集光レンズと前記感光材料との間に設置され、 前記遮蔽部材が、中空円錐型形状の内部部材と、同じく中空円錐型形状の外側部材とからなり、前記内側部材及び前記外側部材の先端にそれぞれ孔を有し、 前記内側部材は前記外側部材の内部に、前記内側部材と前記外側部材との間に隙間を形成して配置され、 さらに、前記内側部材の内部に圧縮ガスを供給するとともに、前記隙間内のガスを吸引するガス供給吸引手段を備えたことを特徴とするレーザ露光装置。
IPC (1件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G03F 7/20 511
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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