特許
J-GLOBAL ID：201103044678481158
電子部品装着装置および電子部品装着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-237978
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068895
特許番号：特許第3961162号
出願日： 1999年08月25日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子部品吸着用のノズルと、
前記ノズルを加圧する第1加圧手段と、
前記第1加圧手段の加圧軸線上の加圧方向とは逆の方向に配置し前記第1加圧手段よりも高い圧力にて前記ノズルを加圧する第2加圧手段と、
前記第1加圧手段の加圧軸上で前記第1加圧手段と前記第2加圧手段との間に配置し前記第2加圧手段の加圧力を前記ノズルに伝達するカップ状の伝達部材と、
第1加圧手段の加圧軸上でかつ前記伝達部材の凹部に配置し前記第1加圧手段による前記ノズルの加圧力を検出する第1加圧力検出手段と、
前記第2加圧手段の加圧軸上の前記伝達部材と前記第2加圧手段との間に配置し前記第2加圧手段による前記ノズルの加圧力を検出する第2加圧力検出手段と、
前記ノズル、前記第1加圧手段、前記第2加圧手段、前記第1加圧力検出手段および前記第2加圧力検出手段を支持する支持体と、
前記支持体を上下に駆動する上下駆動手段と、
前記第1加圧手段と前記第2加圧手段とを切替えて動作させる切替手段と、
前記第1加圧手段により検出された圧力値に基づいて前記第1加圧手段の加圧力の制御を行い、前記第2加圧手段により検出された圧力値に基づいて前記第2加圧手段の加圧力の制御を行う制御手段とを
備えたことを特徴とする電子部品装着装置。
IPC (2件)：
H05K 13/04 ( 200 6.01)
, H01L 21/60 ( 200 6.01)
H05K 13/04 B
, H01L 21/60 311 T
