特許
J-GLOBAL ID：201103045690252446
酸化ガリウム単結晶及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-055855
公開番号（公開出願番号）：特開2011-190127
出願日： 2010年03月12日
公開日（公表日）： 2011年09月29日
要約：
【課題】酸化ガリウム単結晶毎のドーパント含有量の再現性向上を図ることが可能な酸化ガリウム単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】例えば、EFG(Edge Defined Film Fed Growth)法による酸化ガリウム単結晶の製造において、酸化ガリウムを含む原料の融点と、原料に添加されるドーパント酸化物の融点との差が±300°C内に設定されるドーパント酸化物を原料に添加した後、坩堝3内で溶融し、融液2に種結晶10を接触させて融液2から酸化ガリウム単結晶13を結晶成長させる。酸化ガリウムを含む原料の融点と、前記原料に添加されるドーパント酸化物の融点との差を±300°C内に設定することにより、前記原料に対する前記ドーパントの蒸発量制御が容易となる。従って、結晶成長させる酸化ガリウム単結晶に含有されるドーパント含有量の制御が容易化される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
酸化ガリウムを含む原料の融点と、前記原料に添加されるドーパント酸化物の融点との差が、±300°C内に設定される前記ドーパント酸化物を、前記原料に添加するドーパント酸化物の添加工程と、
前記ドーパント酸化物が添加された前記原料を坩堝内で溶融して融液を得る溶融工程と、
前記融液に種結晶を接触させることにより、前記融液から酸化ガリウム単結晶を結晶成長させる結晶成長工程と、
を少なくとも経て、前記酸化ガリウム単結晶を製造することを特徴とする酸化ガリウム単結晶の製造方法。
IPC (3件)：
C30B 29/16
, C30B 15/34
, C30B 15/04
C30B29/16
, C30B15/34
, C30B15/04
4G077AA02
, 4G077BB10
, 4G077CF10
, 4G077EB01
, 4G077EB05
, 4G077HA12
, 4G077PB01
, 4G077PB05
, 4G077PB09
, 4G077PK00
