特許
J-GLOBAL ID：201103045697377570
電気機械変換素子を用いた移動ステージ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
青山 葆
, 伊藤 晃
, 山本 俊則
, 中塚 雅也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-305225
公開番号（公開出願番号）：特開2003-111449
特許番号：特許第3551174号
出願日： 2001年10月01日
公開日（公表日）： 2003年04月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の伸縮方向一端に固定された駆動軸とを備えた第1のリニアアクチュエータと、少なくとも前記第1のリニアアクチュエータの前記駆動軸を支持する支持腕を備え、前記第1のリニアアクチュエータを固定する固定テーブルと、前記固定テーブルに対向して配置され、前記固定テーブルに対して相対的に平行移動可能な移動テーブルと、を備えた移動ステージにおいて、 前記移動テーブルは、 電気機械変換素子と前記電気機械変換素子の伸縮方向一端に固定された駆動軸とを備える第2のリニアアクチュエータと、 中央部分に開口を有する板状体で構成され、その表面に、前記第1のリニアアクチュエータの前記駆動軸に摩擦係合する第1当接部と、前記第2のリニアアクチュエータの前記駆動軸に摩擦係合する第2当接部とを有する第1スライダと、 その前記第1のリニアアクチュエータと直交する方向の側方に前記第2のリニアアクチュエータを固定し、前記第1スライダの開口に収納される第2スライダを備え、前記支持腕と前記第1スライダは、それぞれ互いに嵌合する嵌合手段を有し、前記嵌合手段によって、前記第1スライダが前記第2のリニアアクチュエータの駆動軸の延在方向へ移動するのを阻止することを特徴とする移動ステージ。
IPC (4件)：
H02N 2/00
, G03B 5/00
, G03B 5/08
, G03B 17/56
H02N 2/00 B
, G03B 5/00 J
, G03B 5/08
, G03B 17/56 A
