特許
J-GLOBAL ID：201103046318735186
ナノインプリント用モールド搬送装置および転写方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-280088
公開番号（公開出願番号）：特開2011-129927
出願日： 2010年12月16日
公開日（公表日）： 2011年06月30日
要約：
【課題】連続処理が可能で、かつモールドや被転写体を損傷しない転写装置のナノインプリント用モールド搬送装置。【解決手段】搬送装置3はローラ21a、21bを有し、ローラ21a、21bには、搬送ベルト13が巻きつけられている。ローラ21a、21bがA1、A2方向に回転すると、搬送ベルト13はB方向に移動し、被転写体9を搬送する。搬送装置3の上方にはベルト11が設けられている。ベルト11はローラ23a、23bに巻きつけられており、ローラ23a、23bがC1、C2方向に移動することにより、B方向に移動する。ベルト11の表面には複数のモールド15が設けられている。転写の際は、搬送ベルト13およびベルト11をB方向に移動させながら、モールド15をアクチュエータを用いて下降させ、被転写体9に押圧することにより、転写形状を連続して形成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被転写体上に、転写形状を有するモールドを押圧することによって、前記被転写体上に転写形状を形成するナノインプリント用転写装置に用いられるナノインプリント用モールド搬送装置であって、
被転写体が載置された面に対向して設けられ、連続して移動可能なベルトと、
前記ベルトの前記被転写体と対向する面に設けられ、転写形状を有するモールドと、
前記モールドを前記被転写体に押圧する押圧手段と、
を具備することを特徴とするナノインプリント用モールド搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C59/02 Z
4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209AJ00
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PJ11
, 4F209PQ11
, 4F209PQ16
, 4F209PQ20
, 5F046AA28
出願人引用 (1件)
-
パターン転写装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-009090
出願人：株式会社石川製作所, 松村英樹
審査官引用 (7件)
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