特許
J-GLOBAL ID：200903066699863641
パターン転写装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
宮田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-009090
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198979
出願日： 2000年01月18日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：
【要約】【課題】 インプリント法によるパターン転写を実現できる装置を安価に提供すると共に、インプリント法での温度変化を伴うという生産上の欠点を克服し、生産性の高いパターン転写装置とする。【解決手段】 基板2を載置固定するプレート3上に、パターン形状である凹凸を円周面に有し、積極回転する円筒形状の型部材6を昇降可能に設置すると共に、プレート3又は型部材6に加熱手段を設け、更にこの型部材6には基板2への押し付け荷重の制御機構を設け、プレート3上の基板2に型部材6を回転させながら押し付け、型部材6又はプレート3のいずれかを平行移動させることにより、パターン転写を行うことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板を載置固定するプレート上に、パターン形状である凹凸を円周面に有し、積極回転する円筒形状の型部材を昇降可能に設置すると共に、プレート又は型部材に加熱手段を設け、更にこの型部材には基板への押し付け荷重の制御機構を設け、プレート上の基板に型部材を回転させながら押し付け、型部材又はプレートのいずれかを平行移動させることにより、パターン転写を行うことを特徴とするパターン転写装置。
Fターム (18件)：
4F209AA21
, 4F209AC03
, 4F209AF01
, 4F209AG01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AK09
, 4F209AP06
, 4F209AR06
, 4F209AR07
, 4F209PA03
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PH01
, 4F209PH06
, 4F209PN06
, 4F209PQ02
, 4F209PW15
