特許

J-GLOBAL ID：201103046684717662

基板乾燥装置及び乾燥方法、並びに基板の製造方法

発明者： 福田 浩 ,  安池 良友 ,  権守 和彦 ,  油田 国夫
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 影井 俊次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-139007
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050660
特許番号：特許第3918401号
出願日： 2000年05月11日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 薄板の基板を水平または所定の角度傾斜した状態で搬送する基板搬送手段と、 この基板搬送手段の搬送方向の途中に配置されて、この基板搬送手段で搬送される基板の表面に付着する液を剥離するようにして乾燥させるエアナイフノズルと、 このエアナイフノズルに形成され、基板表面からほぼ均一な間隔だけ離間した位置から基板の搬送方向と直交する方向に対して所定角度で、この基板搬送方向に対向する方向に向けて所定の入射角をもって前記基板の幅方向の全長にわたってエアを噴射させて、その表面に付着している液を剥離するようにして乾燥させるスリット状のノズル口と、 前記基板搬送手段上を搬送される前記基板のうち、前記エアナイフノズルが最後に離脱する位置の角隅部に対面するように設けられ、このエアナイフノズルが基板通過後にこの角隅部及びその近傍に滞留する液を角隅部からそぎ落とすようにパージする液パージ用のエアを噴射する補助噴射ノズルとを備え、 前記補助噴射ノズルからのエアの前記基板への入射角は、前記エアナイフノズルのノズル口からのエアの前記基板への入射角より大きくなるように設定する 構成としたことを特徴とする基板乾燥装置。

IPC (3件)：

F26B 5/00 ( 200 6.01) ,  G02F 1/13 ( 200 6.01) ,  G02F 1/1333 ( 200 6.01)

FI (3件)：

F26B 5/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/133 500

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 基板乾燥装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-272748   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 基板乾燥方法及び基板乾燥装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-255486   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 基板の液切り乾燥装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-117620   出願人：大日本スクリーン製造株式会社