特許
J-GLOBAL ID：201103046849271842

電気接続装置

発明者：
小坂 裕

小坂 裕 について

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植木 勲

植木 勲 について

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尾石 上人

尾石 上人 について


出願人/特許権者：
株式会社日本マイクロニクス

株式会社日本マイクロニクス について


代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-254498
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074778
特許番号：特許第3545655号
出願日： 1999年09月08日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】本体と、仮想的な四角形の第1の辺にあって前記本体に取り外し可能に配置された第1のプローブユニットと、前記第1の辺の隣りの第2の辺にあって前記本体に取り外し可能に配置された第2のプローブユニットとを含み、各プローブユニットは、前記本体に取り外し可能に配置されかつ対応する前記辺の長手方向へ伸びるプローブベースと、該プローブベースの一端部に配置された原点マークと、該原点マークを被検査基板と垂直の方向から撮影するように前記プローブベースに配置されたカメラと、前記プローブベースに配置された複数のプローブとを含み、各カメラは、その焦点位置を、前記原点マークの高さ位置に対応する原点位置と、前記プローブに接触している前記被検査基板の高さ位置に対応するコンタクト位置と、前記被検査基板を前記プローブから離して前記被検査基板の位置合わせをする位置に対応するアライメント位置とに変更可能の3焦点式のカメラである、電気接続装置。
IPC (5件)：
G01R 1/073 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/02 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66
FI (5件)：
G01R 1/073 D ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/02 ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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