特許

J-GLOBAL ID：201103047157915541

光電変換装置、固体撮像装置およびその製造方法

発明者： 村上 一朗 ,  中柴 康隆
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-355692
公開番号（公開出願番号）：特開2000-236080
特許番号：特許第3296352号
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1導電型の半導体基板と、前記第1導電型の半導体基板上に形成された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜上に形成された透明電極と、前記透明電極上に形成された第1の反射防止膜と、前記透明電極と前記第1の反射防止膜の間に形成された、第3の絶縁膜とを有することを特徴とする光電変換装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/146 ,  H01L 27/148

FI (3件)：

H01L 27/14 D ,  H01L 27/14 B ,  H01L 27/14 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 固体撮像素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-083344   出願人：三洋電機株式会社
• 固体撮像素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-083343   出願人：三洋電機株式会社
• 特開昭63-269567
  
• 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-313730   出願人：三洋電機株式会社

審査官引用 (5件)

• 固体撮像素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-083344   出願人：三洋電機株式会社
• 固体撮像素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-083343   出願人：三洋電機株式会社
• 特開昭63-269567
  
• 特開昭63-269567
  
• 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-313730   出願人：三洋電機株式会社