特許

J-GLOBAL ID：201103047864979033

流量計測装置

発明者： 塚田 正夫 ,  楠山 幸一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-060297
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249041
特許番号：特許第3712907号
出願日： 2000年03月06日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被測流体が流通する流路内に配置される素子取付体と、該素子取付体に設けられ被測流体の流れと接触することによって流量を検出する流量検出素子とからなり、 前記流量検出素子は、前記素子取付体に取付けられる裏面側に凹窪部が形成され該凹窪部に対応する表面側部位が薄肉部となった基板と、該基板の薄肉部上に設けられた検出部とからなる流量計測装置において、 前記素子取付体と基板の裏面との間には、前記基板の凹窪部と異なる位置で素子取付体と基板との間に隙間を確保する隙間形成体を設け、 該隙間形成体は、前記基板と素子取付体とを接着するための接着剤を収容する接着剤収容凹部を取囲む枠状突起によって構成し、 前記基板と素子取付体との間には、該枠状突起によって確保される前記隙間を用いて前記基板の凹窪部を素子取付体の外部に連通させる通気路を設けたことを特徴とする流量計測装置。

IPC (1件)：

G01F 1/692

FI (1件)：

G01F 1/68 104 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• センサ、センサ素子支持基板及び基板体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-350270   出願人：東京瓦斯株式会社, オムロン株式会社
• 質量流量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-140626   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-052596   出願人：株式会社東海理化電機製作所

審査官引用 (3件)

• センサ、センサ素子支持基板及び基板体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-350270   出願人：東京瓦斯株式会社, オムロン株式会社
• 質量流量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-140626   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-052596   出願人：株式会社東海理化電機製作所