特許

J-GLOBAL ID：201103047982975182

露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法

発明者： 斎藤 佳大 ,  手塚 秀和 ,  土井 秀明 ,  望月 正明 ,  小竹 英雄 ,  山本 健司
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 高橋 浩三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-108843
公開番号（公開出願番号）：特開2011-237596
出願日： 2010年05月10日
公開日（公表日）： 2011年11月24日
要約：

【課題】複数の半導体発光素子から発生した露光光により基板を露光する際、半導体発光素子の寿命を延ばし、また消費電力を抑えながら、露光光の強度の変化を抑制して、パターンの露光を均一に行う。【解決手段】基板の露光が行われないとき、光源制御装置50は、光源80の複数の半導体発光素子82へ駆動電流を供給しないで、各半導体発光素子82を消灯させる。基板の露光が行われる間、光源制御装置50は、光源80の複数の半導体発光素子82へ駆動電流を供給して、各半導体発光素子82を点灯させる。そして、光源80の複数の半導体発光素子82の温度変化に伴う光量の変化を検出し、光源制御装置50は、検出された光量の変化を補う様に、光源80の複数の半導体発光素子82へ供給する駆動電流を増減させる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板を支持するチャックと、 複数の半導体発光素子を有する光源と、 前記光源から発生した露光光を前記チャックに支持された基板へ照射する照射装置と、 前記チャックと前記照射装置とを相対的に移動する移動手段とを備え、 前記移動手段により前記チャックと前記照射装置とを相対的に移動し、前記照射装置から照射された露光光により基板を露光する露光装置であって、 前記光源の複数の半導体発光素子へ駆動電流を供給する制御手段と、 前記光源の複数の半導体発光素子の温度変化に伴う光量の変化を検出する検出手段とを備え、 前記制御手段は、基板の露光が行われないとき、前記光源の複数の半導体発光素子へ駆動電流を供給しないで、各半導体発光素子を消灯させ、基板の露光が行われる間、前記光源の複数の半導体発光素子へ駆動電流を供給して、各半導体発光素子を点灯させ、前記検出手段により検出した光量の変化を補う様に、前記光源の複数の半導体発光素子へ供給する駆動電流を増減させることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F7/20 505 ,  H01L21/30 529

Fターム (22件)：

2H097AA03 ,  2H097BB01 ,  2H097CA01 ,  2H097LA12 ,  5F046BA07 ,  5F046CA03 ,  5F046CB04 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02 ,  5F046DA26 ,  5F046DB01 ,  5F046DB02 ,  5F046DC01 ,  5F146BA07 ,  5F146CA03 ,  5F146CB04 ,  5F146DA01 ,  5F146DA02 ,  5F146DA26 ,  5F146DB01 ,  5F146DB02 ,  5F146DC01

引用特許：

審査官引用 (9件)

• 特開昭61-159865
  
• 画像記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-106482   出願人：松下電器産業株式会社
• 画像露光装置および画像露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-080423   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 露光装置および露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-372335   出願人：ペンタックス株式会社
• 露光装置、照明装置及び露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-133844   出願人：株式会社ニコン
• 光源ユニット、照明光学装置、露光装置、および露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-148839   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭61-159865
  
• 特開昭62-218155
  
• 露光装置及び露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-121625   出願人：富士写真フイルム株式会社