特許

J-GLOBAL ID：200903029600362066

露光装置および露光方法

発明者： 原 正人 ,  小林 義則 ,  石橋 臣友
出願人/特許権者： ペンタックス株式会社
代理人 (1件)： 松岡 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-372335
公開番号（公開出願番号）：特開2003-173029
出願日： 2001年12月06日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】 光源の性能が低下しても直ちに光源を交換する必要のない露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】 複数の発光部の中で予め定められている基準発光量で発光できない不良発光部を検出し、複数の発光部から照射された光を感光性基板上で走査させた場合に、感光性基板を一様な光量で露光できるように、不良発光検出段階で検出された不良発光部と異なる発光部の発光量を調整してから、光量調整段階で発光量を調整された複数の発光部から照射された光を感光性基板上で走査させる。

請求項（抜粋）：

複数の発光部と、感光性基板を露光するために前記複数の発光部から照射された光を前記感光性基板上で走査させる走査手段と、前記複数の発光部の中で予め定められている基準発光量で発光できない不良発光部を検出する不良発光部検出手段と、前記感光性基板を一様な光量で露光できるように、前記複数の発光部のうち、前記不良発光部と異なる発光部の発光量を調整する光量調整手段とを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 516 C

Fターム (8件)：

2H097BB01 ,  2H097CA03 ,  2H097CA12 ,  2H097GA45 ,  5F046CB22 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02 ,  5F046DB01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-069875   出願人：富士ゼロックス株式会社
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-200726   出願人：日本電気株式会社
• 走査型露光装置および露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-210305   出願人：キヤノン株式会社