特許
J-GLOBAL ID：200903059669149522
光源ユニット、照明光学装置、露光装置、および露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-148839
公開番号（公開出願番号）：特開2006-332077
出願日： 2005年05月23日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：
【課題】 比較的簡素な構成に基づいて、高輝度の実質的な面光源を光学的に得ることのできる光源ユニット。【解決手段】 互いに間隔を隔てて配置された複数の固体光源素子(11)の発光部(11a)を有する光源本体(11a,11b,12)と、複数の発光部の拡大像を所定面にそれぞれ形成するための拡大光学系(13)と、上記所定面またはその近傍に配置されて複数の拡大像を形成する光束または複数の拡大像からの光束をそれぞれ集光するための集光光学系(14)とを備えている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
互いに間隔を隔てて配置された複数の固体光源素子の発光部を有する光源本体と、
前記複数の発光部の拡大像を所定面にそれぞれ形成するための拡大光学系と、
前記所定面またはその近傍に配置されて前記複数の拡大像を形成する光束または前記複数の拡大像からの光束をそれぞれ集光するための集光光学系とを備えていることを特徴とする光源ユニット。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02B 19/00
, G03F 7/20
H01L21/30 515D
, G02B19/00
, G03F7/20 521
2H052BA02
, 2H052BA03
, 2H052BA09
, 2H052BA12
, 5F046BA03
, 5F046CB13
, 5F046CB23
, 5F046DA01
