特許
J-GLOBAL ID：201103048033724914
真空圧力制御弁
出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社
シーケーディ株式会社 について
代理人 (3件)： 富澤 孝 , 山中 郁生 , 岡戸 昭佳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-225688
公開番号（公開出願番号）：特開2002-132354
特許番号：特許第3777311号
出願日： 2001年07月26日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 真空容器と真空ポンプとを接続する配管上にあって開度を変化させることにより真空容器内の真空圧力を変化させる真空圧力制御弁において、
(1)弁座と、前記弁座と当接または離間する弾性シール部材を備える弁体とを有すること、
(2)前記弾性シール部材が前記弁座に押圧されている状態において、前記弾性シール部材の弾性変形量と前記弾性シール部材からの漏れ量とのリニアな関係を有する領域を含み、前記リニアな関係を有する領域より漏れ量の少ない領域における前記弾性シール部材の弾性変形量と前記弾性シール部材からの漏れ量との関係をマップデータとして記憶し、前記マップデータに基づいて、前記弾性シール部材の弾性変形量を変化させ、前記弾性シール部材からの漏れ量を制御することにより、前記真空容器内の圧力を制御する制御手段を有すること、
を特徴とする真空圧力制御弁。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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