特許
J-GLOBAL ID：201103048594126943

液位モニタ及び液位モニタリング方法

発明者：
フィードラー、ロバート・アール

フィードラー、ロバート・アール について


出願人/特許権者：
イズコ、インク.

イズコ、インク. について


代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-199853
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046625
特許番号：特許第3513053号
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 チャンバ、チャンバと連通する吸気口と排気口、及びセンサ本体に取付けられるとともにチャンバに連通する第一側を有する可動部材を備え、可動部材の第二側が水路の液体と連通するように水路内の既知の高さに配置されるセンサ本体を備え、さらに、前記チャンバに前記吸気口と連通した給気管路を介して圧縮された流体を供給するタンクと、前記排気口から流出する流体を前記タンクに循環させるポンプと、前記給気管路内の圧力を測定する差圧変換器と、前記差圧変換器の測定結果に基づいて水路内の液位を算出する制御器とを備え、前記可動部材は、前記チャンバ内の圧力が前記可動部材の第二側の液体圧力より低いか同じときにその第一側が前記排気口を閉じる第一位置と、前記チャンバ内の圧力が前記可動部材の第二側の液体圧力より高いときにその第一側が前記排気口から離れる第二位置との間を移動可能であることを特徴とする液位モニタ。
IPC (4件)：
G01F 23/16 ,  F16K 7/00 ,  F16K 7/12 ,  F16K 7/14
FI (4件)：
G01F 23/16 ,  F16K 7/00 Z ,  F16K 7/12 Z ,  F16K 7/14 Z
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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