塩基発生剤、感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料、当該感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法並びに物品

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：岸本達人 , 山下昭彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-176384
公開番号（公開出願番号）：特開2011-052214
出願日： 2010年08月05日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：

【課題】解像性に優れ、低コストで、塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体の構造上適用可能な選択肢の範囲が広い感光性樹脂組成物及びその様な感光性樹脂組成物に利用可能な塩基発生剤を提供する。【解決手段】特定の構造を有し、電磁波の照射と加熱により塩基を発生することを特徴とする塩基発生剤、並びに、当該塩基発生剤及び塩基性物質によって又は塩基性物質の存在下での加熱によって最終生成物への反応が促進される高分子前駆体を含有することを特徴とする、感光性樹脂組成物である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記化学式(1)で表わされ且つ電磁波の照射と加熱により、塩基を発生することを特徴とする、塩基発生剤。

IPC (4件)：

C09K 3/00 , G03F 7/004 , G03F 7/038 , G03F 7/075

FI (5件)：

C09K3/00 K , G03F7/004 503Z , G03F7/038 504 , G03F7/038 503 , G03F7/075 511

Fターム (30件)：

2H125AE08P , 2H125AE12P , 2H125AG00P , 2H125AM73P , 2H125AM85P , 2H125AM99P , 2H125AN32P , 2H125AN47P , 2H125AN84P , 2H125CA11 , 2H125CB05 , 2H125CC01 , 2H125CC11 , 2H125CC12 , 2H125CC25 , 2H125FA05 , 2H125FA06 , 4C054AA02 , 4C054BB10 , 4C054CC04 , 4C054DD01 , 4C054EE01 , 4C054FF03 , 4C054FF12 , 4H006AA01 , 4H006AB76 , 4H006AB80 , 4H006AC52 , 4H006BV34 , 4H006BV35

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭52-13315号公報
特開昭54-145794号公報
感光性樹脂組成物及びパターン形成方法およびそれを用いた電子装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-275288 出願人：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社

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