サポートバー及び基板収納カセット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 清水義憲 , 柴山健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-265373
公開番号（公開出願番号）：特開2011-109027
出願日： 2009年11月20日
公開日（公表日）： 2011年06月02日
要約：

【課題】剛性の確保及び振動減衰特性の向上を図ることができるサポートバー、及びそのようなサポートバーを備える基板収納カセットを提供する。【解決手段】サポートバー10においては、繊維強化プラスチックからなる内側層11と外側層13との間に、内側層11の周方向において連続し且つ基端10aから先端10bに渡って延在するように制振弾性層12が配置されている。これにより、振動減衰時間の短縮化等、振動減衰特性の向上を図ることができる。しかも、繊維強化プラスチックからなる内側層11が円管状であり、繊維強化プラスチックからなる内側層11と外側層13とで制振弾性層12が挟まれている。これにより、制振弾性層12の適用に起因した剛性の低下を防止することができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基端を固定端とし且つ先端を自由端として水平方向に延在した状態で基板を支持するためのサポートバーであって、繊維強化プラスチックからなり、前記基端から前記先端に渡って延在する円管状の内側層と、少なくとも前記内側層における前記基端側の部分の上側及び下側に配置された制振弾性層と、繊維強化プラスチックからなり、前記制振弾性層を覆うように前記内側層の外側に配置された外側層と、を備えることを特徴とするサポートバー。

IPC (5件)：

H01L 21/673 , B65D 85/86 , B65D 85/48 , B32B 1/08 , B32B 5/00

FI (5件)：

H01L21/68 V , B65D85/38 R , B65D85/48 , B32B1/08 Z , B32B5/00 B

Fターム (43件)：

3E096AA06 , 3E096BA20 , 3E096BA24 , 3E096BB05 , 3E096CA02 , 3E096CA08 , 3E096CB03 , 3E096DA01 , 3E096DA03 , 3E096DA25 , 3E096DB06 , 3E096DC02 , 3E096EA02Y , 3E096EA07Y , 3E096EA11Y , 3E096FA09 , 3E096FA10 , 3E096FA20 , 3E096FA40 , 3E096GA09 , 3E096GA11 , 3E096GA13 , 4F100AG00 , 4F100AK73 , 4F100AR00B , 4F100BA03 , 4F100BA04 , 4F100BA07 , 4F100BA10C , 4F100DA11 , 4F100DH01 , 4F100DH02A , 4F100DH02C , 4F100DH02D , 4F100GB41 , 4F100JH02B , 4F100JK07B , 5F031CA05 , 5F031DA01 , 5F031EA02 , 5F031EA03 , 5F031EA19 , 5F031PA13

引用特許：

審査官引用 (2件)

基板カセット用サポートバー
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-156755 出願人：新日本石油株式会社, イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
制振性産業用梁構造部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-387858 出願人：谷本敏夫, スーパーレジン工業株式会社

前のページに戻る