基板カセット用サポートバー

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：宮崎昭夫 , 伊藤克博 , 石橋政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-156755
公開番号（公開出願番号）：特開2005-340480
出願日： 2004年05月26日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

【課題】大型化する基板カセットの重量増加を抑え、基板の搬入・搬出時の基板振動を少なくし、作業性を向上させる。【解決手段】基板搬入口Aの両側面に、収納される基板4の端部を支持する端部支持部2と、基板搬入口の対向面側で固定され、搬入口側に自由端を有する上下方向に一列または複数列に配された、収納される基板4の前記端部支持部2の間を支持するサポートバー3とを有し、複数枚の基板4を水平姿勢で上下方向に多段に収納する基板カセット1において、前記サポートバー3を引張弾性率490〜950GPaの高弾性炭素繊維をその体積比で30%以上含む炭素繊維強化複合材料で形成し、好ましくは中空パイプ状に、更に好ましくは先端部側が細くなるテーパ状に形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数枚の基板を水平姿勢で上下方向に多段に収納する基板カセットにおける前記各基板の中央部のたわみを抑制するように支持する基板カセット用サポートバーであって、引張弾性率490〜950GPaの高弾性炭素繊維をその体積比で30%以上含む炭素繊維強化複合材料で形成されていることを特徴とする基板カセット用サポートバー。

IPC (3件)：

H01L21/68 , B65D85/48 , B65D85/86

FI (3件)：

H01L21/68 V , B65D85/48 , B65D85/38 R

Fターム (23件)：

3E096AA06 , 3E096BA20 , 3E096BA24 , 3E096BB05 , 3E096CA02 , 3E096CA08 , 3E096CB03 , 3E096DA01 , 3E096DA25 , 3E096DB04 , 3E096DC02 , 3E096EA11Y , 3E096FA01 , 3E096FA20 , 3E096GA09 , 3E096GA13 , 5F031CA05 , 5F031DA01 , 5F031EA02 , 5F031EA03 , 5F031EA18 , 5F031PA13 , 5F031PA18

引用特許：

出願人引用 (4件)

基板用カセット
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-209108 出願人：淀川化成株式会社
ガラス基板カセット
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-172761 出願人：株式会社アドバンスト・ディスプレイ
基板収納カセット
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-327808 出願人：シャープ株式会社

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審査官引用 (5件)

カセット用基板支持部材および基板用カセット
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-309507 出願人：淀川ヒューテック株式会社
基板収納カセット
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-327808 出願人：シャープ株式会社
ガラス基板カセット
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-172761 出願人：株式会社アドバンスト・ディスプレイ

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