シリコン溶融用ルツボの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (9件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 松冨豊 , 西和哉 , 村山靖彦 , 大場充
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-147294
公開番号（公開出願番号）：特開2000-335998
特許番号：特許第4214619号
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】シリコン溶融用ルツボの製造方法において、石英ルツボの外面に非晶質のシリカ粉末を混合したスラリーを付着した後、該スラリー層表面に非晶質のシリカ砂を散布してスタッコ層を形成する操作を任意回数繰り返して、前記スラリー層と前記スタッコ層とを交互に積層して外層部を形成後、そのルツボを、600〜1200°Cで0.5〜12時間加熱保持して焼成し、前記外層部を結晶質のシリカ同士が焼結により拡散結合した成形体とすることを特徴とするシリコン溶融用ルツボの製造方法。

IPC (3件)：