特許

J-GLOBAL ID：201103049212802622

液滴吐出ヘッド及びその製造方法、画像形成装置、液滴吐出装置

発明者： 山中 邦裕 ,  橋本 憲一郎 ,  木幡 八州太郎
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 稲元 富保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-219803
公開番号（公開出願番号）：特開2002-036541
特許番号：特許第4001453号
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2002年02月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 液滴を吐出するノズルと、前記ノズルが連通する液室と、前記液室の壁面を形成する振動板とからなり、この振動板を変位変形させることで前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、 前記振動板がP型不純物シリコン層からなり、 前記P型不純物シリコン層のP型不純物濃度は、前記振動板の内部にピークを持ち、前記振動板の厚さ方向において、ピーク部から液室方向及び液室と逆方向に向かってそれぞれ低濃度になり、前記振動板の厚さ方向において、前記振動板の液室と反対側表面部で最小となる、分布を有する ことを特徴とする液滴吐出ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ( 200 6.01) ,  B41J 2/055 ( 200 6.01) ,  B41J 2/16 ( 200 6.01)

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (2件)

• インクジェット記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-167724   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-280369   出願人：新日本製鐵株式会社