特許
J-GLOBAL ID：201103049471144196
CMP排液の処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳原 成
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-067035
公開番号（公開出願番号）：特開2000-254659
特許番号：特許第4168520号
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】CMP排液をマグネシウムイオンの存在下にpH10以上で凝集処理する第1工程と、
第1工程の分離固形分をpH9以下にしてマグネシウムイオンを溶出させる第2工程と、
第2工程の反応液を固液分離する第3工程とを含むCMP排液の処理方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
